聯系我們|更多分站 歡迎來到青島青新空氣凈化工程有限公司網站!
青島青新空氣凈化工程有限公司從業十七年,您身邊的凈化專家
全國咨詢熱線:13210226095
您的位置: 首頁>>新聞資訊>>行業快訊

咨詢熱線

0532-89268229

集成電路類型的無塵車間有哪些施工要求?

作者: 時間:2021-10-11 13:22:14點擊:3163次

  想要知道滿足集成電路類型的無塵車間又哪些施工要求,就要先明白什么是集成電路車間,顧名思義,集成電路無塵車間就是滿足半導體制造工藝要求的無塵車間,并且該無塵車間對車間內環境的潔凈度、濕度、溫度、振動等都有著一定的要求,集成電路無塵車間相對比其他車間來說,面積更大、潔凈度更高、溫濕度控制要更精確。

  根據潔凈室車間的空氣循環特點,潔凈室可分為高效送風系統循環空調、濕密封系統循環風機和FFU循環系統三種。

  第一種形式廣泛用于小型低級潔凈車間的設計,但對于大面積、高級潔凈車間,存在運行成本高、空間大等缺點。

  第二種設計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積、高層次的要求,但運行成本較高,且潔凈室風速和風量難以調節。系統升級難度大,操作靈活性低。

  第三類FFU循環系統不僅節省操作空間,而且清潔度、安全性和操作成本低,操作靈活性高。系統可隨時升級調整,不影響生產。為滿足半導體制造的需求,FFU循環系統日益成為半導體制造行業最重要的精煉設計解決方案。

1626054765185908.jpg

  FFU循環系統的特點包括:整個潔凈室由靜壓床、工藝床、工藝輔助層和回風道組成。 FFU 為空氣循環提供動力。新鮮空氣和循環空氣混合通過超高效過濾器送入工藝流,床層和工藝輔助層的正壓層與工藝床層相比為負壓。還有電源、氣化、超純水供應等集成電路制造設施的輔助生產區。

  集成電路制造對控制無塵工作環境有更嚴格的要求。例如,光刻需要1 級微環境,而化學機械拋光只需要1000 級環境。

  此外,集成電路制造潔凈室對噪聲、微振動和照度,尤其是振動控制,都有相關的規定和要求,這對潔凈室的建筑結構設計至關重要。

  良好的潔凈工作場所設計可以節約能源、降低成本、減少人力投入,為生產提供安全可靠的保障。三種清洗系統中,FFU循環系統運行成本最低,清洗安全性最高,所以大部分集成電路清洗廠都使用FFU循環系統。潔凈度要求越高,溫濕度控制精度越高,潔凈室投資和運行成本越高,因此當環境潔凈度或溫濕度要求較低時,必須部署一些關鍵工藝設備。高標準、潔凈度或溫濕度控制領域是IC制造潔凈車間的設計趨勢。

  集成電路制造屬于耗能行業,清潔空調系統能耗占30%以上,因此節能安全的潔凈室設計和各種熱回收設計將是未來的發展方向。

  現在集成電路制造發展的越來越快,集成電路的技術也在不斷地升級,很多主流的大廠都已經開始進入納米技術,這就要求集成電路制造潔凈車間的設計、建設和節能創新也必須不斷完善,這樣才能確保能生產出高端產品。

在线看片免费人成视频久网下载,国产精品任我爽爆在线播放,学霸X校霸(含试管),3D太湖钓叟字谜